High-end Sortiersystem für 300mm-Wafer mit Mini-Environment

Die IL C 3800 ist ein multifunktionales System zum Sortieren, Umhorden und Inspizieren von 300mm-Wafern. Die sehr komplexe Ausstattung und das umfassende Zubehörangebot machen die IL C 3800 zu einer besonders leistungsfähigen und vielfältig einsetzbaren Lösung. Das integrierte Mini-Environment (Klasse 1) ist mit einer Ionisierungseinheit ausgestattet.

Die IL C 3800 kann mit bis zu 7 Lade- / Entlade-Stationen ausgestattet werden, die manuell oder im Automatik-Modus nach Standard SEMI E84 beladen werden können. Das System verfügt über ein spezielles InnoLas "Edge Grip"-Handlingsystem und den patentierten "Edge Grip"-Aligner zum hochgenauen automatischen Ausrichten der 300mm Scheiben.

Die IL C 3800 bietet die Möglichkeit zum Anschluss von Bolts-kompatiblen Messsystemen. Zum umfangreichen Programm optionaler Komponenten gehört u.a. eine umfangreiche GEM-Schnittstelle.

Download: Infoblatt IL C 3800 (PDF 431 KB)