Sortiersystem für 300mm-Wafer mit Mini-Environment

Die IL C 3400 wurde zum Sortieren, Umhorden und Inspizieren von 300mm-Wafern entwickelt. Das integrierte Mini-Environment (Klasse 1) ist mit einer Ionisierungseinheit ausgestattet. Der Luftstrom wird mittels Differenzial-Drucksensor überprüft.

Das Wafer-Sortier und Inspektionssystem IL C 3400 ist mit dem speziellen InnoLas "Edge Grip"-Handlingsystem und einem patentierten "Edge Grip"-Aligner ausgerüstet. Das kompakte 6-Seiten-Design erlaubt flexible Kombinationen von automatischen FOUP-Loadports, halbautomatischen und automatischen Presenterstationen.

Das Basis-Modell verfügt über eine Lese-Einheit (OCR, BC412, T7), mit der Beschriftungen der Wafer-Vorderseite gelesen werden können. Eine zweite Lese-Einheit (OCR, BC412, T7) zum Ablesen von Code der Wafer-Rückseite kann optional installiert werden.