Wafersortieren für Wafergrößen von 2“ bis 200 mm

Das InnoLas Wafer-Sortiersystem IL 2600 sortiert, splittet und führt Wafer vollautomatisch aus verschiedenen Kassetten bzw. Horden zusammen. Es verschiebt die Wafer von jedem Slot einer Kassette zu jedem beliebigen anderen Slot in derselben oder einer anderen Kassette. Hierzu stehen maximal 6 Kassettenstationen zur Verfügung.

Scheibengrößen von 2“ bis 100 mm oder 3“ bis 200 mm können ohne jeglichen mechanischen Justierungsaufwand bearbeitet werden.

Bereits das Basis-Modell verfügt über einen Scanner zur Erfassung belegter und freier Slots in den aufgestellten Kassette sowie über eine Lese-Einheit (OCR, BC412, T7), mit der Beschriftungen der Wafer-Vorderseite gelesen werden können. Eine zweite Lese-Einheit (OCR, BC412, T7) zum Ablesen von Code der Wafer-Rückseite kann optional installiert werden.

Weitere optionale Komponenten wie eine umfangreiche GEM-Schnittstelle stehen zur Verfügung.

Download: Infoblatt IL 2600 (PDF 480 KB)